déposition chimique en phase vapeur sous vide
- déposition chimique en phase vapeur sous vide
- vakuuminis cheminis garinis nusodinimas
statusas T sritis radioelektronika
atitikmenys: angl. vacuum chemical vapor deposition
vok. chemische Vakuumabscheidung aus der Gasphase, f
rus. химическое осаждение из паровой фазы в вакууме, n
pranc. déposition chimique en phase vapeur sous vide, f
Radioelektronikos terminų žodynas. – Vilnius : BĮ UAB „Litimo“.
Kazimieras Gaivenis, Gytis Juška, Vidas Kalesinskas.
2000.
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